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中型螺杆型干式真空泵
◈可大大降低排放温度并且更接近 T4 要求
◈大多数 C-法兰设计简化底托可降低噪声并且无需轴校准
◈稳定性高，故障率低
◈泵的排气路径较短，使气体可以快速排放
◈可以提供哈氏合金+PEEK或PFA双涂层产品
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